EBSD platform

Le Camscan Crystal Probe X500FE est un microscope électronique à balayage à canon à émission de champ. Il a été installé en février 2008 au sein de la Plateforme de Microscopie Électronique et Analytique MEA de l’Université de Montpellier. Il a été financé par l’INSU-CNRS, le ministère de l’Éducation et de la Recherche et la région Languedoc-Roussillon. Il fait partie des instruments nationaux INSU.

Ce MEB a été développé dès sa conception pour la cartographie cristallographique à haute résolution, par diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD). Il a ainsi la particularité d’avoir sa colonne électronique inclinée à 70°, ce qui permet de garder l’échantillon horizontal lors des analyses. Il n’existe qu’un seul autre exemplaire de ce type au monde, à Liverpool. Les systèmes d’analyse ont été mis à jour au cours de l’année 2019. Il est aujourd’hui équipé d’un détecteur EBSD Symmetry de technologie CMOS (financement I-SITE MUSE) pour l’analyse cristallographique et d’un détecteur EDS UltimMax 100 (financement INSU-CNRS) pour l’analyse chimique, les deux étant pilotés par le logiciel AZtecHKL. Cette configuration permet de combiner analyses cristallographique et chimique, avec une rapidité d’exécution et une précision, jamais atteintes. Ce MEB offre également la possibilité de travailler en mode « vide contrôlée » pour analyser les échantillons peu conducteurs. Les analyses peuvent être effectuées avec une résolution spatiale de l’ordre de quelques dizaines de nanomètres. Sa configuration spécifique est optimisée pour les expérimentations in-situ. Nous disposons au sein de la plateforme d’une platine refroidie jusqu’à -185°C (C1001 de Gatan), d’une platine chauffante jusqu’à 800°C (développement maison) et d’une platine de déformation à chaud (MT1000 de Newtec).